大口径数字波面检测技术的研究

• 作者: 刘军 刘承 白剑 舒晓武
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 子孔径 多孔径扫描技术 目标函数
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 3-7
• 页数: 5页
• 分类号: TH741
• 字数: 1909字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2003.06.001

摘要

现代光学系统多采用大口径的光学元件来提高系统的测试精度.数字波面干涉仪是一种高精度光学元件检测设备,但目前传统的技术无法满足检测大口径光学元件的要求.在普通数字波面干涉仪的基础上,采用目标函数多孔径拼接技术,能很好地解决大口径光学元件检测问题,最终得到较完整的波前信息.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	白剑	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	70	605	15.0	21.0
2	刘军	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	54	525	12.0	20.0
3	舒晓武	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	44	283	10.0	15.0
4	刘承	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	42	268	10.0	14.0