AlN陶瓷表面钛金属化反应机理及微观结构

• 作者: 张直 潘伟 黄奇良
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 界面反应 界面微观结构 金属化 氮化铝
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 7-9
• 页数: 3页
• 分类号: TM28
• 字数: 2533字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2003.03.003

摘要

通过X射线衍射分析和扫描电镜观察研究了利用融盐热歧化反应法在氮化铝陶瓷表面生成的钛金属化复合膜的组成、金属化膜与氮化铝陶瓷基体之间的界面反应及界面层的显微结构.研究发现,钛金属化膜非常均匀致密,膜层与氮化铝陶瓷基体结合紧密,形成了一扩散层,钛与铝组元浓度在该扩散层中呈梯度分布,沉积到AlN陶瓷表面的钛金属与AlN发生反应主要生成TiN0.3、TiAl3和Ti9Al23.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘伟	清华大学材料科学与工程系	86	734	14.0	23.0
2	黄奇良	广西民族学院化学化工系	18	52	4.0	6.0
3	张直	广西民族学院化学化工系	6	40	3.0	6.0