多孔硅技术在硅基微型燃料电池中的应用

• 作者: 刘理天 周俊 王晓红 谢克文
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微型质子交换膜燃料电池 多孔硅 MEMS
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 页码范围: 198-201
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.05|TM911.48
• 字数: 1634字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.z1.044

摘要

多孔硅作为一种新型材料,利用其疏松多孔的特性及与IC加工的兼容性,将其用于硅微质子交换膜燃料电池的研究中,作为其电极扩散层.对多孔硅膜的性能、制备工艺及多孔硅膜表面金属淀积工艺进行了研究,提出一套基于MEMS加工技术和薄膜淀积技术的制作硅微质子交换膜燃料电池的工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	王晓红	清华大学微电子学研究所	21	159	8.0	11.0
3	周俊	清华大学微电子学研究所	6	41	4.0	6.0
4	谢克文	清华大学微电子学研究所	6	74	4.0	6.0