离子注入改进硅光伏特性研究的发展动态

• 作者: 李建明
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅 红外吸收 光伏效应
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 离子注入技术
• 页码范围: 1-4,21
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.1+2
• 字数: 2840字
• 语种: 中文

摘要

简述了利用缺陷促进硅光吸收特性的发展历史,概括了用离子注入引入局域缺陷,改进硅光吸收的技术,介绍了多国学者针对局域缺陷改进硅光吸收技术的研究结果及发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建明	中国科学院半导体研究所	10	53	5.0	7.0