氟化钙晶体生长的研究进展

• 作者: 周国清 周圣明 徐军 杨卫桥 苏良碧 董永军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氟化钙(CaF2)晶体 紫外光刻 晶体生长
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 页码范围: 476-482
• 页数: 7页
• 分类号: O78
• 字数: 4426字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2003.05.015

摘要

随着深紫外光刻技术的发展,透光范围宽、透过率高的CaF2晶体成了人们关注的焦点,其尺寸和质量得到了不断的提高.结合CaF2的基本性质,综述了CaF2晶体的主要生长方法及存在的问题.从原料的纯化处理到晶体的光学加工,归纳总结了提高紫外级CaF2晶体的尺寸、质量和产率的有效措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏良碧	中国科学院上海光学精密机械研究所	46	258	9.0	14.0
2	徐军	中国科学院上海光学精密机械研究所	290	2418	22.0	34.0
3	董永军	中国科学院上海光学精密机械研究所	21	226	10.0	14.0
4	周国清	中国科学院上海光学精密机械研究所	48	336	11.0	15.0
5	杨卫桥	中国科学院上海光学精密机械研究所	19	138	6.0	11.0
6	周圣明	中国科学院上海光学精密机械研究所	48	298	9.0	16.0