潘宁离子源中电磁场和气压对氢气电离的影响

• 作者: 周明贵 肖坤祥 谈效华
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 碰撞电离 电磁场 离子源
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 26-28,38
• 页数: 4页
• 分类号: O46
• 字数: 2483字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2003.06.007

摘要

分析了冷阴极潘宁离子源中氢的碰撞电离过程,定性讨论了电磁场强弱、压强大小对氢电离的影响,并阐述了电极材料的特性及选用方法,可为设计小型潘宁离子源部件提供参考依据,对提高潘宁离子源工作稳定性具有一定的实际意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谈效华	中国工程物理研究院电子工程研究所	44	237	9.0	13.0
2	肖坤祥	中国工程物理研究院电子工程研究所	11	106	6.0	10.0
3	周明贵	中国工程物理研究院电子工程研究所	5	65	4.0	5.0