适合于微细加工的外差探测技术及应用

• 作者: 赵慧洁
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 外差干涉仪 定位精度 非线性误差 偏振混叠
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 测试技术及设备
• 页码范围: 98-103
• 页数: 6页
• 分类号: TH741.13
• 字数: 1570字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.01.019

摘要

本文详细地讨论了外差干涉仪的两个主要问题,即干涉仪的横向定位问题和非线性误差分析及其误差补偿问题.首先,提出了一种新颖的解析方法实现干涉仪亚微米级的高精度定位.该方法首先建立了测量光束扫过台阶边缘时测量相位渐变数学模型,并讨论了它与激光束分布的关系.文章利用以上数学模型对测量相位数据进行了详细地分析,实现了在一般激光束径时,干涉仪的定位精度为亚微米量级.另一方面,文章详细地分析了共光路干涉仪三个主要误差源.分析结果表明:由Wollaston棱镜引起的误差主要是二阶误差,而由激光束的椭圆偏振化引起的误差为一阶误差.同时我们发现:金属反射镜的方位误差可以使线偏振光经反射后变为椭圆偏振光,该椭圆偏振光具有不正交性和不相等偏心度,文章首次详细地分析了这种不正交性和不相等偏心度与反射镜方位误差的关系及其由此产生的非线性误差.最后,文章分析了干涉仪的误差补偿措施以提高整个干涉仪的测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵慧洁	北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院	99	856	16.0	25.0