半导体离子注入用离子束加速管的聚焦特性

• 作者: 刘晓芝 孙利平 王应德 陈林
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 强流离子束 加速管 聚焦 空间电荷效应
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TNO463
• 字数: 1578字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2003.04.010

摘要

讨论了离子注入机用三间隙强流离子加速管的聚焦特性,计算了各种能量离子束聚焦情况,并分析了抑制空间电荷效应所需要的电场强度.最后总结了三间隙加速管设计和调试应注意的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈林		11	13	2.0	3.0
2	王应德	长沙大学物电系	11	39	4.0	6.0
3	刘晓芝	长沙大学物电系	5	34	2.0	5.0
4	孙利平	长沙大学物电系	8	61	3.0	7.0