波长移相干涉仪的算法研究

• 作者: 于瀛洁 张本好 焦云芳
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 相移干涉术 波长调谐 移相算法
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 现代光学仪器与精密机械
• 页码范围: 560-566
• 页数: 7页
• 分类号: TH744.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.06.004

摘要

叙述了波长移相干涉仪的基本原理,分析了其特点,对传统硬件移相干涉仪和波长移相干涉仪进行了比较,指出了它们的优缺点和应用范围.以美国New Focus公司的可调谐半导体激光器为例,简述了实现波长调谐的硬件.文中将波长移相干涉仪算法分成三类:加权多步波长移相算法、基于傅里叶变换的波长移相算法和多波长算法,对这三类算法进行了较详细的叙述和分析,指出了各自的优缺点和应用范围.基于傅里叶变换的波长移相算法,提出了结合差分运算的适合于台阶测量的新算法,克服了已有算法中需要参考基准和参考面的缺点,提高了算法的实用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于瀛洁	上海大学精密机械系	80	791	16.0	24.0
2	张本好	上海大学精密机械系	3	39	3.0	3.0
3	焦云芳	上海大学精密机械系	2	32	2.0	2.0