非球面曲面光学零件超精密加工装备与技术

• 作者: 张建明 罗松保
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面 超精密 加工 测量
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 先进制造技术
• 页码范围: 75-77
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.684
• 字数: 3284字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.01.014

摘要

"Nanosys-300非球面曲面超精密复合加工系统"是 "九五"重点预研课题-"非球面曲面的超精密加工与测量技术"的主要研究成果.重点对非球面曲面光学零件超精密加工机床,非球面曲面光学零件超精密加工工艺,非球面曲面光学零件超精密测量技术进行了研究.其主要技术成果有:非球面超精密复合加工系统综合设计和制造技术,高速超精密空气静压主轴系统,超精密闭式液体静压导轨系统,高速超精密空气静压磨头电主轴系统,开放式高性能数控系统集成技术等.系统的精度检测和工艺实验表明其研究水平进入了国际先进行列.