国外空气洁净技术发展的若干现状

• 作者: 徐文华 范存养
• 来源期刊: 电子电路与贴装
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子工业 空气洁净技术 分子态污染物质 微环境控制 节能 现状 喷水室处理新风 化学污染过滤器 硼污染
• 年，卷（期）: dzdlytz_2003,（5）
• 页码范围: 50-62
• 页数: 13页
• 分类号: TN405

摘要

本文仅以微电子工业的发展对空气洁净技术提出的要求为中心，介绍了国外在分子态化学污染控制、高洁净度微环境控制、新型洁净产品开发以及大型洁净室运行节能等方面，在近几年中的技术进展。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐文华		54	464	14.0	19.0
2	范存养		34	442	14.0	20.0