硅微加速度计

• 来源期刊: 国外传感技术
• 学科: 工学
• 关键词: 工作原理 制作方法 分辨率 硅微加速度计
• 年，卷（期）: gwcgjs_2003,（6）
• 页码范围: 210-214
• 页数: 5页
• 分类号: TH824.4

摘要

本文介绍一种适于航天飞行用的新型伺服加速度计。它采用电容工作方式，其特点是灵敏度高，体积小。文中介绍其工作原理、制作方法及试验结果。加速度计工作量程为±0．001g～±lg，在此量程范围内分4段供选择转换。试验结果表明，此种新型加速度计的分辨率业已达到10^-6g，最低和最高工作频率分别为0～100Hz和0～3kHz。