光学平行平板厚度的无损测量

• 作者: 徐昌杰 黄钉劲
• 来源期刊: 测绘技术装备
• 关键词: 无损测量 光干涉 长度测量
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 装备园地
• 页码范围: 36-37
• 页数: 2页
• 分类号: P24
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了一种用麦克尔逊干涉原理对光学平行平板厚度进行无损测量的测量装置,详细阐述了其原理和测量步骤,零位的标定和精度的分析.有较强的实用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐昌杰	西安工业学院光电科学与工程系	17	68	5.0	8.0
2	黄钉劲	西安工业学院光电科学与工程系	27	180	7.0	13.0