微电机械系统/微光电机械系统的应用及前景

• 作者: 于立亭 李锋
• 来源期刊: 光机电信息
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 1-9
• 页数: 9页
• 分类号: TP3
• 字数: 10244字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1180.2003.01.001

摘要

微技术正在解决除了微电子技术之外的微机械、微光学、微声学、微流体技术、微反应技术等领域的微型化和集成化问题,其进一步的重点将放在微米量级的相关器件和系统的研究上.近10年来,微技术已经形成了各种产品和日用品的数十亿美元资产的市场,预计未来若干年仍会高速增长.由于人们对医疗保健、信息、可移动性和可持续发展的渴望,刺激了对微技术产品的需求,一些高技术生产工艺和材料应运而生,而新器件和新系统的发展也使得一些用来模拟器件功能、生产工艺和综合优化过程的软件显得至关重要.此外,微器件的应用正在扩展至信息、自动化和医学技术领域,同时也为未来由微小型化在化学工程、生命科学、工业自动化和光通信等学科引起的变革奠定了全新的基础.