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文献信息
| 篇名 | 机械化学研磨 | ||
| 来源期刊 | 磨料磨具通讯 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 机械化学研磨 半导体 硅片 固定磨粒 游离磨粒 | ||
| 年，卷（期） | mlmjtx_2003,（10） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 6-10 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | TN305.2 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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期刊影响力
磨料磨具通讯
主办单位：
全国磨料磨具行业情报网
郑州磨料磨具削研究所
中国机床工具工业协会超硬材料分会
中国机床工具工业协会磨料磨具分会
中国机床工具工业协会涂附磨具分会
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
河南省郑州市华山路121号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
5059
总下载数（次）
9
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