液相外延法制备LiNbO3薄膜的研究和进展

• 作者: 徐军 王海丽 赵广军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 铌酸锂 薄膜 液相外延法
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 页码范围: 196-203
• 页数: 8页
• 分类号: O782.9
• 字数: 4836字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2003.03.004

摘要

讨论了液相外延法制备LiNbO3薄膜过程中,衬底和助熔剂的选择对LiNbO3薄膜制备的影响及掺杂改性问题,简要地介绍了LiNbO3薄膜的一些性能及光学应用.研究表明,目前可用液相外延法在LiTaO3、掺镁(5mol%)的同成分LiNbO3及纯的同成分或近化学计量比LiNbO3单晶衬底上制备出具有较高光学质量的LiNbO3薄膜.讨论了液相外延法制备LiNbO3薄膜过程中存在的主要问题、发展前景及今后的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐军	中国科学院上海光学精密机械研究所	290	2418	22.0	34.0
2	赵广军	中国科学院上海光学精密机械研究所	55	422	11.0	16.0
3	王海丽	中国科学院上海光学精密机械研究所	11	21	3.0	4.0