磁过滤阴极真空弧沉积装置研究中的等效电路方法

• 作者: 张荟星 王广甫
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁过滤阴极真空弧沉积 第二阳极作用 等效电路
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TL657
• 字数: 2801字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2003.01.005

摘要

提出了模拟磁过滤阴极真空弧放电等离子体沉积装置阴极弧放电过程的等效电路,并用此电路定性研究了各参数对弧放电的影响,结果同实验符合的很好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王广甫	北京师范大学分析测试中心	45	220	7.0	13.0
5	张荟星	北京师范大学低能核物理研究所射线束技术与材料改性教育部重点实验室	17	115	6.0	10.0