MEMS光开关技术的研究进展

• 作者: 秦明 葛峻
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 光开关 光分插复用 光交换 MEMS
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 页码范围: 244-247
• 页数: 4页
• 分类号: TN36
• 字数: 2291字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2003.03.003

摘要

近年来国际上出现的一些新型MEMS光开关,包括其结构、驱动方式、规模等.并且通过对基于各种不同工作机理的光开关之间,性能、结构及可实行产业化程度等各方面数据的分析比较,认为MEMS光开关在现代光通讯领域具有较好的应用发展前景.