电真空器件程控排气的研究

• 作者: 史愚砾 石磊 米伦
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空器件 程序排气 真空度
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺研究
• 页码范围: 54-56
• 页数: 3页
• 分类号: TN108
• 字数: 3000字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2003.02.015

摘要

简要介绍了应用单片机实现电真空器件的程控真空排气,优化了工艺,保证了真空排气工艺的一致性和稳定性,提高了产品的质量.其程控系统设计合理,抗干扰能力强,操作简便.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	米伦	中国工程物理研究院电子工程研究所	19	63	4.0	7.0
2	史愚砾	中国工程物理研究院电子工程研究所	3	17	2.0	3.0
3	石磊	中国工程物理研究院电子工程研究所	16	57	4.0	6.0