Y型声表面波质量传感器

• 作者: 朱大中 章安良
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波传感器 质量沉积效应 多条耦合器
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 页码范围: 457-460,414
• 页数: 5页
• 分类号: TN722
• 字数: 2250字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2003.04.018

摘要

报道了在128°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为122MHz的Y型双声路质量传感器,它具有一个参考声路臂和一个测量声路臂,每声路中有一个采用光刻工艺精确定位的质量沉积区.本文阐述了质量沉积效应的原理、器件的设计方法.采用振荡的方式对器件的性能进行测试.测试结果表明:该器件的两声路频谱对称性良好,并且有良好的相对温度系数,仅为12 Hz/℃左右.器件的质量沉积效应灵敏度约为3.6 GHz*cm2/g,并且具有良好的线性度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱大中	浙江大学信息科学与工程学院信息与电子工程学系	43	188	8.0	11.0
2	章安良	浙江大学信息科学与工程学院信息与电子工程学系	2	16	2.0	2.0