在硅基材料上用Sol-gel法制备涂层测定氧扩散系数研究

• 作者: 何锦林 汪大成 谭红 陈佳新
• 来源期刊: 贵州科学
• 学科: 工学
• 关键词: Sol-gel Y2O3/SiO2 氧扩散系数
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: TB33
• 字数: 1346字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-6563.2003.02.005

摘要

提出一种测定氧扩散系数新方法.用Sol-gel法制备了Y2O3/SiO2均匀致密的薄膜,能成功解决其它方法无法得到的冶炼所得到的熔体,光学椭偏测定氧化层的膜厚.探讨了氧在薄膜中的扩散,在Wagner理论基础上,用数学方法表达在掺杂SiO2薄膜氧扩散系数与氧化层膜厚的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭红		70	810	15.0	26.0
2	何锦林		45	617	12.0	23.0
3	汪大成		4	13	2.0	3.0