串联分子泵获得10-9 Pa真空的实验研究

• 作者: 卢荣春 张军辉 曹柱荣 杨威 杨晓天 蔡晓红 郝斌干
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空获得 分子泵 极限压强
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 42-44
• 页数: 3页
• 分类号: TL503.7
• 字数: 1632字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2003.04.009

摘要

介绍了采用两级分子泵串联系统获得10-9 Pa真空度的实验研究.实验证明,通过串联一台分子泵,可以有效地提高系统对氢气的压缩比,显著提高系统的极限压强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡晓红	中国科学院近代物理研究所	28	80	5.0	8.0
2	杨威	中国科学院近代物理研究所	60	460	11.0	19.0
3	张军辉	中国科学院近代物理研究所	58	990	18.0	30.0
4	卢荣春	中国科学院近代物理研究所	7	23	3.0	4.0
5	曹柱荣	中国科学院近代物理研究所	5	23	3.0	4.0
6	杨晓天	中国科学院近代物理研究所	14	66	5.0	7.0
7	郝斌干	中国科学院近代物理研究所	1	6	1.0	1.0