氧化锌铝透明导电膜

• 作者: 徐成海 谢元华 陆峰
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: ZAO膜 磁控溅射 光电特性
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 39-44,49
• 页数: 7页
• 分类号: TG11.3|O484|TN304.31
• 字数: 6008字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2003.06.010

摘要

本文在对ZAO膜与ITO膜性能比较的基础上,综述了ZAO膜的应用前景、国内外研究现状和制备技术,给出了用直流反应磁控溅射法制备ZAO膜的最佳工艺参数和测得的光电性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐成海	东北大学机械工程与自动化学院	133	1297	21.0	27.0
2	陆峰	东北大学机械工程与自动化学院	9	192	7.0	9.0
3	谢元华	东北大学机械工程与自动化学院	45	299	9.0	16.0