状态方程靶制备技术研究

• 作者: 叶成钢 吴卫东 杜凯 谢军 郑凤成 黄燕华
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 状态方程靶 制备工艺 轧机轧制法 金属薄膜 阻抗匹配
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 82
• 页数: 1页
• 分类号: TL503.4

摘要

随着状态方程物理实验的深入，对靶的制备精度和要求不断提高，采用原有的工艺制备的EOS靶已经不能满足物理实验的要求。考虑现有设备情况，采用轧机轧制法制备金属薄膜，精密切削加工楔形靶，真空扩散连接法制备Al-Cu阻抗匹配靶。