硅基法布里-珀罗微腔的红光发射

• 作者: 但亚平 刘理天 姚永昭 岳瑞峰 王燕
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微腔 布拉格反射镜 PECVD 退火
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 页码范围: 60-64
• 页数: 5页
• 分类号: TN38+.2
• 字数: 2976字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.z1.013

摘要

以PECVD为制备工艺,a-SiO2∶H/a-Si∶H为分布式布拉格反射镜的多层膜,a-SiCx∶H为中间腔体发光材料,制备出垂直腔面的发光微腔.根据模拟结果确定了微腔的多层膜层数和排列顺序,并在250℃下制备出了这种微腔.将微腔样品分别在不同温度下进行退火,对退火前后的微腔进行了反射谱和光致发光谱研究.结果表明,微腔能激射出波长为743nm,半高宽为9nm的光,在350℃退火后发光性能进一步提高,而450℃退火后,性能恶化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	岳瑞峰	清华大学微电子学研究所	67	379	11.0	15.0
2	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
3	王燕	清华大学微电子学研究所	55	351	8.0	17.0
4	但亚平	清华大学微电子学研究所	6	5	1.0	2.0
5	姚永昭	清华大学微电子学研究所	6	4	1.0	2.0