LSMCD法制备纳米(Pb,La)TiO3薄膜

• 作者: 张之圣 李海燕 胡明
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 液态源雾化化学沉积 纳米镧钛酸铅薄膜 X射线衍射 扫描电镜
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 研究工作快报
• 页码范围: 88-91
• 页数: 4页
• 分类号: TM2
• 字数: 2443字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1625.2003.06.022

摘要

研究了利用液态源雾化化学沉积(LSMCD)法制备纳米(Pb,La)TiO3薄膜的工艺. XRD和SEM分析表明:沉积4次,采用RCA热处理,在Pt/Ti/SiO2/Si基板上成功制备出具有钙钛矿结构的、晶粒粒径约60nm、厚度约180nm的纳米颗粒PLT薄膜.该方法既可以较精确的控制薄膜的化学计量比及掺杂浓度,又可采用控制超声雾化沉积的时间和次数来有效的控制膜厚及晶粒的大小.该工艺的沉积速率约为3nm/min.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡明	天津大学电子信息工程学院	139	1336	19.0	28.0
2	张之圣	天津大学电子信息工程学院	57	580	15.0	21.0
3	李海燕	天津大学电子信息工程学院	24	220	9.0	14.0