非晶金刚石膜的性能及其应用

• 作者: 赵玉清 黎永钧
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 非晶金刚石薄膜 过滤阴极真空电弧离子镀膜机 性能 应用
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 光学薄膜技术
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2832字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2003.01.013

摘要

非晶金刚石薄膜具有超高硬度等一系列优异的特殊性能,为工程界孜孜追求的材料表面镀膜.用百纳科技公司研发制造的过滤阴极真空电弧离子镀膜机镀制的非晶金刚石薄膜,SP3金刚石结构量≥80%,硬度高,膜/基结合力高,摩擦系数小,耐磨损,耐腐蚀,透光率高,在电子,机械,光学,生物医学上有广泛应用前景.我们已在视窗玻璃,丝锥,模具,硬质合金刀头等产品上成功应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵玉清	西安交通大学电信学院	17	63	4.0	7.0
2	黎永钧	西安交通大学电信学院	3	38	3.0	3.0