16×16纳米陶瓷/聚合物复合敏感膜热释电面阵研制

• 作者: 李金华 袁宁一 陈王丽华
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 红外成像 热释电阵列 复合敏感膜
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 45-48
• 页数: 4页
• 分类号: TN219|TM221
• 字数: 2419字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.03.012

摘要

用三维集成CMOS 工艺研制了16×16 有机/无机复合敏感膜红外热释电面阵.用掺钙和镧的钛酸铅(PCLT)纳米粉粒与聚偏氟乙烯-三氟乙烯[P(VDF-TrFE)]均匀复合,作面阵的敏感膜.用PMOS场效应管作热释电元件的阻抗转换,用双16位移位寄存器作敏感元件信号读出的选址.用6 μm厚的聚烯亚胺薄膜作为热释电面阵与CMOS读出电路间的热隔离.用40 nm厚的Ni-Cr膜作面阵的上电极及吸收层.测得该面阵单元在600 Hz下探测率峰值为2.6×107cmHz1/2/W.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈王丽华	香港理工大学应用物理系及材料研究中心	27	186	7.0	13.0
2	李金华	江苏工业学院信息科学系功能材料实验室	33	277	9.0	15.0
3	袁宁一	江苏工业学院信息科学系功能材料实验室	26	154	8.0	10.0