微波ECR等离子体源离子注入法制备DLC薄膜

• 作者: 唐祯安 李新 王金刚 邓新绿 马国佳
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石 电子回旋共振 等离子源离子注入 sp3键
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 429-431
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2029字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2003.06.013

摘要

用微波ECR等离子体源离子注入(PSII)法,在硅片(100)上制备了类金刚石(DLC)薄膜,工作气体采用CH4气体,研究了不同的气体流量对薄膜的影响.对制备的DLC薄膜,用拉曼光谱、FT-IR光谱、AFM以及纳米压痕等手段对化学成分、化学键结构、表面形貌以及硬度等进行了表征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐祯安	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	142	1281	17.0	29.0
2	邓新绿	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	28	356	9.0	17.0
3	王金刚	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	2	12	2.0	2.0
4	李新	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	12	112	6.0	10.0
5	马国佳	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	7	122	5.0	7.0