射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究

• 作者: 侯廉平 陈培峰 陈清明
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: RF CO2激光器 划片 氧化铝陶瓷基片 数值模拟
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 应用
• 页码范围: 352-356
• 页数: 5页
• 分类号: TN249|TG665
• 字数: 4184字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2003.04.034

摘要

分析了RF CO2激光陶瓷基板划片的机理及工艺参数选择的原则.通过数值模拟和实验,分析了脉冲频率、脉冲宽度、划片速度、辅助气压大小、离焦量等工艺参数对激光划片质量的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈培峰	华中科技大学激光技术与工程研究院	7	75	5.0	7.0
2	陈清明	华中科技大学激光技术与工程研究院	16	155	6.0	12.0
3	侯廉平	华中科技大学激光技术与工程研究院	6	14	2.0	3.0