电容式微传声器的性能模拟与优化设计

• 作者: 刘忠立 宁瑾
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式微传声器 MEMS 有限元分析 性能模拟
• 年，卷（期）: 2003,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 877-881
• 页数: 5页
• 分类号: TN402
• 字数: 2996字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.08.020

摘要

针对所研制的电容式微传声器在理想模式下的工作原理,建立了有限元分析模型和声-电模型,从理论上分析了器件的机械性能、灵敏度以及频响特性,得出了结构优化的设计原则,即要想得到高灵敏度的微传声器器件,必须考虑采用尽可能小的空气隙厚度和声学孔尺寸以及具有较小内应力的声学振膜.为采用MEMS技术制备出高性能的电容式微传声器提供了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘忠立	中国科学院半导体研究所微电子中心	77	412	12.0	14.0
2	宁瑾	中国科学院半导体研究所微电子中心	13	44	4.0	6.0