微电子机械系统中的超微电机

• 作者: 施进浩 陈宝
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 静电型微电机 电磁型微电机
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 所属期刊栏目: 其它
• 页码范围: 46-48
• 页数: 3页
• 分类号: TM35
• 字数: 2757字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2003.12.016

摘要

介绍了微电子机械系统中的关键执行部件——超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、超声波微电机等.分析了原理、分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了微电子机械系统中微电机的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	施进浩		8	23	2.0	4.0
2	陈宝		1	2	1.0	1.0