场发射结构的有限元模拟

• 作者: 周洪军 尉伟 王勇 范乐 蒋道满 裴元吉
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 场致发射 几何结构 有限元分析
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 27-29
• 页数: 3页
• 分类号: TN873+.95
• 字数: 1442字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2003.01.008

摘要

采用ANSYS有限元计算程序,对场致发射体进行模拟计算,初步研究了发射体的几何形状尺寸与其发射特性之间的联系.通过对不同几何尺寸发射体的计算结果的分析,认为发射体的尖端曲率半径及栅极的开口直径是影响发射体发射特性最主要的因素.依据合肥国家同步辐射实验室的LIGA深度光刻技术,给出可行的几何形状.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王勇	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	507	5142	33.0	48.0
2	蒋道满	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	11	49	4.0	6.0
3	裴元吉	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	60	343	10.0	15.0
4	尉伟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	21	104	7.0	9.0
5	范乐	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	12	56	6.0	7.0
6	周洪军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	41	221	10.0	13.0