高性能InP基谐振腔增强型长波长光探测器

• 作者: 任晓敏 周震 王兴妍 王琦 黄永清 黄辉
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振腔增强型 光探测器 空气隙 选择性湿法刻蚀
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 230-232，237
• 页数: 4页
• 分类号: TN364.2
• 字数: 2035字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2003.04.004

摘要

介绍了目前实现高性能InP基谐振腔型(RCE)长波长光探测器的几种方案.采用InP-空气隙DBR结构、正入射光、响应波长为1550nm的高灵敏度、高速InP基长波长RCE光探测器,在1510nm波长处获得了59%的量子效率,在器件台面面积仍很大的情况下(50μm×50μm),获得了8GHz的3dB响应带宽.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄永清	北京邮电大学光通信中心	196	987	13.0	18.0
2	任晓敏	北京邮电大学光通信中心	189	942	13.0	18.0
3	周震	北京邮电大学光通信中心	13	39	3.0	5.0
4	黄辉	北京邮电大学光通信中心	59	282	10.0	12.0
5	王琦	北京邮电大学光通信中心	82	480	13.0	19.0
6	王兴妍	北京邮电大学光通信中心	12	89	7.0	9.0