超精密装置PID振动控制系统的仿真研究

• 作者: 傅龙珠 梅德庆 陈亚良 陈子辰
• 来源期刊: 工程设计学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密装置 仿生学 主动振动控制 PID控制
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 15-19
• 页数: 5页
• 分类号: TH113.1|TH161.6
• 字数: 2652字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1006-754X.2003.01.004

摘要

在仿生啄木鸟头部独特生物构造和隔振机理的基础上,采用主动隔振技术建立了超精密装置隔振系统结构及动力学模型.结合超精密装置隔振系统的结构特点和性能要求,采用闭环PID主动控制系统,用Matlab软件进行了仿真分析.仿真分析结果表明,该振动控制系统宽频率范围内具有良好的减振效果,该系统可应用于超精密测量、超精密制造设备的隔振领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈子辰	浙江大学现代制造工程研究所	272	5059	38.0	56.0
2	梅德庆	浙江大学现代制造工程研究所	56	881	16.0	27.0
3	傅龙珠	浙江大学现代制造工程研究所	10	99	6.0	9.0
4	陈亚良	浙江大学现代制造工程研究所	6	43	3.0	6.0