感应耦合气体放电及其静电场

• 作者: 李培芳 熊熠明 王超
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 气体放电 静电场
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: O432
• 字数: 2496字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2003.01.005

摘要

提出了长圆柱形感应耦合气体放电的电动力学模型.放电为磁场激励型,稳定的等离子体由电磁场所维持,空间电荷产生的静电场引起荷电粒子的双极扩散.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王超	浙江大学电气工程学院	77	1026	15.0	30.0
2	熊熠明	浙江大学电气工程学院	2	3	1.0	1.0
3	李培芳	浙江大学电气工程学院	15	204	5.0	14.0