MEMS气敏传感器

• 作者: 徐毓龙 徐爱兰 惠春
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS技术 牺牲层技术 MEMS气敏传感器
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 133-134,139
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 4547字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2003.02.006

摘要

随着MEMS技术的飞速发展,各种MEMS器件和系统相继问世,MEMS气敏传感器是其中之一.本文重点介绍了7种MEMS气敏传感器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	惠春	上海交通大学微纳米科学技术研究院	25	181	9.0	13.0
2	徐爱兰	上海交通大学微纳米科学技术研究院	6	63	6.0	6.0
3	徐毓龙	上海交通大学微纳米科学技术研究院	1	15	1.0	1.0