基于InP/空气隙DBR的长波长RCE光探测器的实验研究

• 作者: 任晓敏 周震 崇英哲 王兴妍 王琦 黄永清 黄辉
• 来源期刊: 光通信技术
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振腔光探测器 长波长 空气隙 选择性湿法刻蚀
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 所属期刊栏目: 光器件
• 页码范围: 33-34
• 页数: 2页
• 分类号: TN929.11|TN247
• 字数: 1297字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-5561.2003.12.012

摘要

报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光探测器.它采用选择性湿法刻蚀,制备出基于InP/空气隙的分布布喇格反射镜(DBR).并将该结构的反射镜引入RCE光探测器,所制备的器件,在波长1.585μm处获得了约54.5%的峰值量子效率,以及8GHz的3dB响应带宽,其中器件的台面面积为50×50 mm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄永清	北京邮电大学光通信中心	196	987	13.0	18.0
2	任晓敏	北京邮电大学光通信中心	189	942	13.0	18.0
3	周震	北京邮电大学光通信中心	13	39	3.0	5.0
4	黄辉	北京邮电大学光通信中心	59	282	10.0	12.0
5	王琦	北京邮电大学光通信中心	82	480	13.0	19.0
6	王兴妍	北京邮电大学光通信中心	12	89	7.0	9.0
7	崇英哲	北京邮电大学光通信中心	10	49	4.0	6.0