溶胶凝胶法制备SnO2:Sb膜的光学电学性能

• 作者: 史金涛 杜丕一 赵高凌 韩高荣
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶凝胶 SnO2:Sb 透明导电膜
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 5-9
• 页数: 5页
• 分类号: TK511+.4
• 字数: 3919字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2003.01.002

摘要

以金属无机盐SnCl2@2H2O和SbCl3为原料,用溶胶凝胶浸渍法制备掺锑SnO2透明导电薄膜,并对其电学参数(如方块电阻、霍尔迁移率、载流子浓度和类型)和光学参数(如透射反射率、光学能隙)进行测试分析.XPS分析确定薄膜中掺杂锑离子主要以Sb5+形式存在.薄膜的方块电阻最低可达85Ω/□,霍尔迁移率在2.5～3.6cm2V-1s-1,膜厚约1μm时可见光透射率约为85%,反射率低于15%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜丕一	浙江大学硅材料国家重点实验室	80	880	17.0	27.0
2	韩高荣	浙江大学硅材料国家重点实验室	187	1971	24.0	35.0
3	赵高凌	浙江大学硅材料国家重点实验室	45	462	14.0	20.0
4	史金涛	浙江大学硅材料国家重点实验室	1	15	1.0	1.0