精密电子设备带电清洗技术的应用与理论研究

• 作者: 凌志 郑凤萍
• 来源期刊: 洗净技术
• 学科: 工学
• 关键词: 带电清洗 离子污染度 扫描电镜 能谱分析
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 31-37
• 页数: 7页
• 分类号: TN6
• 字数: 7591字
• 语种: 中文

摘要

本文包括三方面主要内容:第一,把带电清洗技术作为系统工程来研究,建立了带电清洗技术的质量保障体系.该体系在施工实践中已证明是行之有效的.第二,研究并建立了以测量离子污染度来评价带电清洗洗净效果的方法,试验数据不仅证明了对运行设备进行清洗的必要性,而且证明了该法在评价带电清洗洗净效果方面的可行性.此外,还研究了以扫描电镜与能谱分析来评价带电清洗洗净效果的方法,也获得了很好的效果.第三,利用计算机实现精确的设计、计算,建立模型并求解.这项研究获得了成功.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	凌志		3	13	1.0	3.0
2	郑凤萍		2	1	1.0	1.0