超灵敏度质谱检漏实验的新结果

• 作者: 查良镇 金奇计 陈娉 陈旭
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 超灵敏度 质谱检漏 累积模式 动态模式
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 38-42
• 页数: 5页
• 分类号: TB7
• 字数: 4599字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2003.03.014

摘要

为适应对真空及压力器件密封性日益增长的要求,尤其是确保小体积密封真空器件的长期可靠性,研制了一套超灵敏度检漏系统.这套全金属的超高真空系统主要由分子泵、离子泵、无油前级泵、消气剂泵和高性能的四极质谱计等组成,由于采用了现代先进的真空技术,仅在几个小时内就可达到10-6 Pa的工作压强.该系统有两种检漏模式,累积模式用于漏率小于5×10-12 Pa*m3/s 漏孔的检漏,更大的漏率则用动态检漏模式.实验结果表明该系统的最小可检漏率可达1×10-15 Pa*m3/s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈旭	清华大学电子工程系	71	482	10.0	20.0
2	查良镇	清华大学电子工程系	25	295	10.0	17.0
3	金奇计	清华大学电子工程系	4	4	1.0	2.0
4	陈娉	清华大学电子工程系	1	3	1.0	1.0