金刚石声表面波器件的研究与进展

• 作者: 李冬梅 潘峰 陈菁菁
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 声表面波器件 压电薄膜
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 417-424,428
• 页数: 9页
• 分类号: TN65
• 字数: 7684字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2003.06.011

摘要

高频无线通讯系统的迅速发展推动了对高频声表面波(SAW)器件需求的不断增大.金刚石具有最高的声速和许多优于其他材料的特性,因此金刚石声表面波器件受到了越来越多的关注.本文介绍了金刚石声表面波器件的构成、制备方法,讨论了金刚石声表面波器件近年来国际上的研究进展,包括理论研究与实验进展的概况,并讨论了金刚石声表面波器件的未来发展趋势.