外延晶体硅薄膜电池的EBIC与SR-LBIC特性分析

• 作者: S.Reber 梁宗存 沈辉 许宁生
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜太阳电池 电子束诱导电流(EBIC) 晶界 复合
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: TK514
• 字数: 2228字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2003.z1.010

摘要

电子束诱导电流(EBIC:Electron Beam Induced Current)是研究晶体缺陷(如晶界、位错、沉淀等)复合特性的一种有力工具.该文对以颗粒硅带为衬底的晶体硅薄膜电池表面及电池截面的晶体缺陷、特别是对晶界的复合行为进行了研究.电池表面EBIC照片表明复合中心位于晶界处,在小颗粒集中区域复合越强.截面的EBIC结果表明在颗粒晶界处分别有着强弱复合,与晶界处强的复合行为相比,颗粒内部没有或仅有比较弱的复合行为发生.靠近电池表面处的颗粒晶界和颗粒内部复合行为由于H钝化得到减弱,少数载流子扩散长度随深度的增加而降低.光谱决定的光束诱导电流(SR-LBIC)表明扩散长度在整个电池表面是不均匀的,最大扩散长度与外延层厚度相当.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈辉	中国科学院广州能源研究所	121	1808	24.0	37.0
5	许宁生	中山大学物理系	14	89	5.0	9.0
6	梁宗存	中国科学院广州能源研究所	15	71	4.0	8.0