表面平整度测量的新方法研究

• 作者: 孙艳 王昭 谭玉山
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 干涉 光纤 频谱仪 表面平整度
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 页码范围: 314-317
• 页数: 4页
• 分类号: O433
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2003.03.024

摘要

介绍了用反射干涉频谱法测量透明或半透明薄膜表面平整度的方法,薄膜厚度的测量范围约在0.2～20 μm(小于20 μm)之间.在对二氧化硅薄膜的测试中,该测试方法与椭圆偏振仪的测试结果相比较,其纵向测量误差小于2 nm.通过光纤传感器在薄膜上的移动,对薄膜上各点的反射光谱进行分析,得到各点的厚度.通过步进电机的移动,连续测量膜上不同点的厚度,从而获得薄膜的表面形貌.该方法对薄膜无破坏作用,且无需测量干涉条纹,与其他的非接触式测试方法相比较,具有无横向测试范围限制、测试系统结构简单、测试精度高、测试结果可靠的特点,因此有较强的实用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王昭	西安交通大学机械工程学院	63	763	13.0	26.0
2	孙艳	西安交通大学机械工程学院	36	242	8.0	13.0
3	谭玉山	西安交通大学机械工程学院	77	1184	18.0	31.0