大型准无油真空除气炉的设计研究

• 作者: 陈志东
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 不锈钢真空除气 准无油 油扩散泵
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 研制报告
• 页码范围: 51-53
• 页数: 3页
• 分类号: TB753
• 字数: 2472字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2003.02.014

摘要

基于在高真空除气炉研制过程中取得的成功经验,对利用油扩散泵系统获得准无油真空环境以及设计中应注意的问题进行了研究探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈志东		1	0	0.0	0.0