用Hopkinson杆冲击加载研究高量程微加速度计芯片的抗过载能力

• 作者: 张泰华 曾昭君 杨业敏 郇勇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 Hopkinson杆 抗过载能力
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 128-131
• 页数: 4页
• 分类号: TP0415
• 字数: 1952字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2003.02.006

摘要

采用体硅微机械加工技术制作田字形结构的高量程微加速度计芯片.为了研究芯片的抗过载能力,使用Hopkinson杆对其施加冲击载荷,以一维应力波理论估计芯片受到的加速度.结果显示,芯片破坏的临界载荷为200 kg-n.裂纹和断裂主要发生在十字架中心、边框的4个角以及十字梁和边框的连接部位.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张泰华	中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室	39	1013	14.0	31.0
2	郇勇	中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室	14	162	6.0	12.0
3	杨业敏	中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室	10	724	8.0	10.0
4	曾昭君	北京大学微电子学研究所	2	42	2.0	2.0