GaN基蓝光半导体激光器的发展

• 作者: 叶晓军 种明 陈良惠
• 来源期刊: 物理
• 学科: 工学
• 关键词: GaN 蓝光激光器 侧向外延生长 光存储 数字多功能光盘(DVD)
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 物理学和高新技术(半导体发光及其应用专题)
• 页码范围: 302-308
• 页数: 7页
• 分类号: TN3
• 字数: 6872字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0379-4148.2003.05.004

摘要

文章介绍了下一代光存储用半导体激光器--GaN蓝光激光器的发展状况.对衬底材料的发展现状、外延片的生长技术以及激光器的制作工艺都作了论述.阐明了GaN激光器的一些技术路线,如GaN同质生长衬底的发展,侧向外延生长技术的采用以及湿法腐蚀腔面等.另外还介绍了GaN半导体激光器数字多功能光盘(DVD)的实用化进程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈良惠	中国科学院半导体研究所	59	338	11.0	15.0
2	种明	中国科学院半导体研究所	12	102	6.0	10.0
3	叶晓军	中国科学院半导体研究所	11	50	4.0	7.0