等离子清洗技术(二)

• 作者: 熊楚才
• 来源期刊: 洗净技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体 清洗
• 年，卷（期）: 2003,（8）
• 所属期刊栏目: 知识讲座
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: O53
• 字数: 4992字
• 语种: 中文

摘要

文章对等离子清洗技术做了全面介绍,不仅介绍了有关等离子的基本概念、低温等离子体制备技术及其相关装置,而且着重介绍了它在精密清洗中的应用及其注意事项,指出等离子清洗技术在淘汰ODS清洗剂过程中能够发挥重要作用

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊楚才		6	21	3.0	4.0