脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的研究现状与展望

• 作者: 宋全胜 戢明 曾晓雁
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 其他
• 关键词: 脉冲激光沉积 激光激发等离子体 液滴 颗粒物
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 22-26
• 页数: 5页
• 分类号: O848
• 字数: 5589字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2003.01.007

摘要

综述了脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的研究现状,并按照研究方向将整个研究领域分为三个部分:PLD法沉积薄膜的机理,PLD的工艺研究以及PLD法沉积的主要薄膜材料,分别进行了阐述,对相关的研究工作提出了建议,并对PLD技术的应用前景做了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾晓雁	华中科技大学激光技术国家重点实验室	144	2006	25.0	36.0
2	戢明	华中科技大学激光技术国家重点实验室	5	146	4.0	5.0
3	宋全胜	华中科技大学激光技术国家重点实验室	4	125	3.0	4.0