靶球真空吸附装置中吸取力的计算

• 作者: 孙涛 李军 李旦
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 靶球 真空吸附 靶测量
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 学位论文
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TL6
• 字数: 2520字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2003.05.006

摘要

系统地分析了靶球真空吸附装置中靶球受力状况,介绍了一种简单有效地确定靶球真空吸取力的计算方法,通过强度校核的方法,得到合理的吸取力参数范围;并分析了吸取力对靶球位置精度的影响.在实际应用中验证了吸取力设计的合理性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李军		77	586	14.0	19.0
2	孙涛		124	1024	17.0	23.0
3	李旦		63	1584	24.0	38.0